1．脫(tuo)脂
粘附在金(jin)屬(shu)表面的(de)油脂(zhi)、潤滑(hua)劑(ji)等蒸氣壓較高，在真空加熱時，自行揮發或分解(jie)成水(shui)，氫(qing)氣和二氧(yang)化碳(tan)等氣體(ti)，并被真空泵抽走，與不同金(jin)屬(shu)表面產生化學(xue)反應(ying)，得到無氧(yang)化、無腐(fu)蝕的(de)非常(chang)光潔的(de)表面 。
2．除氣
金屬在熔煉時，液態(tai)金屬要吸收H2、O2、N2、CO等(deng)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)，由于冷(leng)卻速度太(tai)快，這(zhe)些(xie)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)留在固(gu)體(ti)(ti)(ti)金屬中，生成氣(qi)孔(kong)及白點等(deng)各種冶金缺陷，使材料的電阻、磁導率、硬度、強度、塑性、韌性等(deng)性能受到影(ying)響，根(gen)據氣(qi)體(ti)(ti)(ti)在金屬中溶解度，與(yu)周圍環(huan)境的分壓平方根(gen)成正比的關系，分壓越(yue)小(xiao)即(ji)真(zhen)空度越(yue)高，越(yue)可減少氣(qi)體(ti)(ti)(ti)在金屬中的溶解度，釋放出(chu)來(lai)的氣(qi)體(ti)(ti)(ti)被(bei)真(zhen)空泵(beng)抽走(zou) 。
3．氧化物分解(jie)
金(jin)屬表(biao)(biao)面(mian)的氧化(hua)(hua)膜、銹蝕(shi)、氧化(hua)(hua)物，氫化(hua)(hua)物在(zai)真(zhen)空(kong)加(jia)熱時被還原、分解(jie)或揮發(fa)而消(xiao)失(shi)，使(shi)金(jin)屬表(biao)(biao)面(mian)光潔。鋼(gang)件真(zhen)空(kong)度達(da)0.133~13.3Pa即可達(da)到表(biao)(biao)面(mian)凈化(hua)(hua)效果，金(jin)屬表(biao)(biao)面(mian)凈化(hua)(hua)后，活性增強，有利于C、N、B等(deng)原子吸收，使(shi)得化(hua)(hua)學熱處理速度增快和均勻。
4．保護作用(yong)
真空熱處理(li)實(shi)質上是在(zai)極(ji)稀薄(bo)的(de)(de)(de)(de)氣氛中進行，爐內殘存的(de)(de)(de)(de)微量氣體不足以(yi)使被處理(li)的(de)(de)(de)(de)金(jin)屬(shu)材料產生氧化脫(tuo)碳(tan)，增碳(tan)等作(zuo)用。使金(jin)屬(shu)材料表面的(de)(de)(de)(de)化學(xue)成分(fen)和原來表面的(de)(de)(de)(de)光亮度保持不變(bian) 。
5．合金元素(su)的蒸發
各種金(jin)屬(shu)在不(bu)(bu)同溫度下有(you)不(bu)(bu)同蒸氣壓，當真空(kong)度提高(gao)時(shi)，蒸氣壓高(gao)的金(jin)屬(shu)（Mn、Cr）容易蒸發、并(bing)污染其它金(jin)屬(shu)表面，使零件之(zhi)間(jian)，或零件與料筐之(zhi)間(jian)粘結，造成電氣短路，材質改性等(deng)缺陷(xian)，通(tong)常零件在高(gao)真空(kong)下加(jia)熱至800C，800C以上應通(tong)以惰(duo)性氣體。